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半导体晶元光刻和高精度PCB板曝光等。以高压短弧球形汞灯作为光源，采用了柱体蝇眼透镜和高能力集光的椭球反射镜及抛物反射镜等光学镜组形成面光源，实现PG电子娱乐平台 365nm的紫外光（i线为主），光束垂直照射于半导体光刻机掩膜板进行芯片光曝光，光能利用率高，光强分布均匀。
稳定性叁数：
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项目编号 |
该项目 |
功效规定要求 |
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1 |
规格型号 |
HGUV-365-D6-400-AC |
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2 |
黑与白 |
髙压短弧汞灯 |
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3 |
采光长宽高 |
>160x160mm（可定制开发） |
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4 |
事情PG电子娱乐平台 |
主PG电子娱乐平台 365nm |
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5 |
户外照明不匀性 |
<3% |
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6 |
照明系统程度 |
>30 mW/cm2 @ 365nm |
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7 |
准直角（C Angle） |
<2.5° |
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8 |
倾斜角（D Angle） |
<0.3° |
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9 |
任务距 |
300-400mm |
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10 |
温度/能量反馈 |
灯室温度实时检测/光路能量实时监测 |
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11 |
灯源自动调节 |
光源位置可电控调节，X向：±5mm，Y向：±5mm，Z向：10mm |
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12 |
一系列冷却措施 |
风冷或水冷散热 |
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