利用于：
半导体晶元光刻和高精度PCB板曝光等。以高压短弧球形汞灯作为光源，采用了柱体蝇眼透镜和高能力集光的椭球反射镜及抛物反射镜等光学镜组形成面光源，实现PG电子娱乐平台 365nm的紫外光（i线为主），光束垂直照射于半导体光刻机掩膜板进行芯片光曝光，光能利用率高，光强分布均匀。
耐磨性基本参数：
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序号顺序 |
活动 |
耐腐蚀性标准 |
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1 |
型号规格 |
HGUV-365-D6-400-AC |
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2 |
泛光灯 |
高电压短弧汞灯 |
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3 |
灯光长宽 |
>160x160mm（可定制化） |
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4 |
运行PG电子娱乐平台 |
主PG电子娱乐平台 365nm |
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5 |
照明电器不粗糙性 |
<3% |
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6 |
照明工作难度 |
>30 mW/cm2 @ 365nm |
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7 |
准直角（C Angle） |
<2.5° |
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8 |
倾斜角（D Angle） |
<0.3° |
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9 |
运作距 |
300-400mm |
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10 |
温度/能量反馈 |
灯室温度实时检测/光路能量实时监测 |
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11 |
灯源调试 |
光源位置可电控调节，X向：±5mm，Y向：±5mm，Z向：10mm |
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12 |
冷却水原则 |
风冷或水冷散热 |
连续我门
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